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智通财经讯,鼎龙股份(300054.SZ)公告,公司控股子公司武汉鼎泽新材料技术有限公司(简称“鼎泽新材料”)的多晶硅制程、氮化硅制程共3款抛光液产品于近期首次收到某国内主流晶圆厂商的采购订单。
公告显示,多晶硅(Poly-Si)与氮化硅(SiN)复合结构整合工艺是芯片器件制造流程中的关键,而平坦化制程更是重中之重,所使用的多晶硅抛光液(Polyslurry)技术难度相当高。截至目前,公司是某主流芯片制造大厂多晶硅制程抛光液产品通过验证的唯一国内供应商。
关键词:
鼎龙股份(300054.SZ)子公司3款抛光液产品获国内主流晶圆厂客户订单
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